ASML hợp tác với IMEC cho các công nghệ xử lý phụ 2NM với các công cụ chế tạo chip EUV cao

ASML và Imec đã thiết lập quan hệ đối tác năm năm nhằm cung cấp cho các nhà nghiên cứu và phát triển của Imec quyền truy cập vào các công cụ mới nhất của ASML. Quan hệ này tập trung vào công nghệ quy trình dưới 2nm, đòi hỏi các công cụ lithography tiên tiến của ASML, bao gồm High-NA, metrology và inspection. Imec sẽ đảm bảo kỹ sư từ các trường đại học và công ty có thiết bị mới nhất cho nghiên cứu, trong khi ASML sẽ tích hợp các công cụ của mình vào công nghệ quy trình tiên tiến.

Theo thỏa thuận hợp tác, Imec sẽ được tiếp cận toàn bộ thiết bị sản xuất wafer tiên tiến của ASML, bao gồm các hệ thống lithography Twinscan NXT DUV, Twinscan NXE EUV với độ mở 0.33, và Twinscan EXE EUV với độ mở 0.55. Ngoài ra, Imec cũng sẽ tích hợp các giải pháp đo quang YieldStar của ASML và các công cụ kiểm tra đơn và đa tia của HMI vào cơ sở của mình.

Các công cụ này sẽ được lắp đặt tại dây chuyền thử nghiệm Imecs ở Bỉ và được tích hợp vào dây chuyền NanoIC được tài trợ bởi EU và Flanders. Thiết bị thế hệ mới từ ASML sẽ được sử dụng để phát triển công nghệ sản xuất bán dẫn thế hệ tiếp theo, đặc biệt là công nghệ chế tạo dưới 2nm. Để sản xuất hiệu quả ở các nút chế tạo dưới 2nm, các công cụ lithography cần hỗ trợ độ phân giải 8nm với một lần phơi sáng, điều này chỉ có thể đạt được với các công cụ High-NA EUV.

Tuy nhiên, mỗi hệ thống High-NA EUV có giá 350 triệu USD, điều này khiến các nhà nghiên cứu hoặc người chơi mới khó có thể sở hữu. Các nhà nghiên cứu của Imec và ASML đã làm việc với các công cụ High-NA 0.55 NA EUV chủ yếu tại các cơ sở nghiên cứu của ASML ở Veldhoven, Hà Lan. ASML đã lắp đặt các máy High-NA EUV thế hệ đầu tiên tại các cơ sở của mình để thực hiện thử nghiệm, đánh giá ban đầu và nghiên cứu hợp tác với Imec và các đối tác khác.

Theo thỏa thuận mới, Imec sẽ có quyền truy cập trực tiếp vào thiết bị High-NA ngay tại cơ sở nghiên cứu của mình ở Leuven, Bỉ, đặc biệt là tại cơ sở thí điểm hiện đại và dây chuyền NanoIC được tài trợ bởi EU và Flanders. Đây là lần đầu tiên các nhà nghiên cứu của Imec có thể sử dụng công nghệ High-NA EUV trực tiếp tại cơ sở của họ, giúp tăng tốc công việc. Việc cung cấp quyền truy cập này cho Imec nằm trong dự án Next Gen-7A IPCEI22201 và được chính phủ Hà Lan tài trợ như một Dự án Quan trọng của Lợi ích Chung châu Âu.

Chúng tôi rất vui mừng tiếp tục mối quan hệ đối tác độc đáo lâu dài với ASML, mang đến cho ngành công nghiệp những giải pháp định hình tiên tiến nhất trong hơn 30 năm qua, cho biết Luc Van den hove, Chủ tịch và CEO của Imec. Việc bao gồm toàn bộ danh mục sản phẩm của ASML sẽ giúp chúng tôi mở rộng và nâng cao khả năng của dây chuyền thí điểm, cung cấp cho toàn bộ hệ sinh thái bán dẫn công nghệ R&D tiên tiến nhất để đối phó với những thách thức của sự tiến bộ công nghệ do AI dẫn dắt.

Vì Imec tập trung vào đổi mới bền vững, việc đưa yếu tố này vào hợp tác là rất quan trọng. Ngoài việc hợp tác phát triển các công nghệ chip logic dưới 2nm, ASML và Imec cũng sẽ hợp tác về công nghệ quy trình DRAM, quang điện silicon và giải pháp đóng gói tiên tiến.

Nguồn: www.tomshardware.com/tech-industry/asml-teams-up-with-imec-for-sub-2nm-process-technologies-with-high-na-euv-chipmaking-tools